Optionen

Achssystem einer OMF-Anlage zur Ionenstrahl-Bearbeitung
 

Optionen und Erweiterungen für die Anlagen zur Ionenstrahl-Bearbeitung

Vakuumsystem

Die Ionenstrahlanlagen der OMF-Reihe sind standardmäßig mit einer Vorkammer (Load-Lock) ausgestattet. Das ermöglicht einen schnellen Wechsel der Proben zwischen den Bearbeitungen, weil das Vakuum der Hauptkammer nicht gebrochen werden muss. Alle Anlagen besitzen mindestens eine Vorpumpe und jeweils eine Turbomolekularpumpe für die Vorkammer und die Hauptkammer. Das ist die Mindestausstattung, um eine Ionenstrahlbearbeitungsanlage zu betreiben. Wir empfehlen zur Erhöhung der Pumpleistung jedoch als wichtige Option den Einsatz von zwei Vorpumpen für das ganze System und zwei Turbomolekularpumpen für die Hauptkammer. Der Einsatz mehrerer leistungsstarker Pumpen reduziert nicht nur die Abpump-Zeit sondern steigert auch die Vakuumqualität insgesamt, weil ein noch geringerer Druck (besseres Vakuum) erreicht werden kann.

Für eine optimale Vakuum-Qualität empfehlen wir außerdem eine Meißnerfalle innerhalb des Vakuumsystems. Eventuell in der Kammer vorhandener Wasserdampf bzw. Wasserdampf-Partialdruck verlängert die Zeit, welche die Pumpen zum Aufbau des Vakuums benötigen. Auch andere Verschmutzungen oder ungewollter Eintrag in die Vakuumkammer verlängern die Pump-Zeit. Man kann die Turbopumpen wirksam beim Abpumpen unterstützen, indem man vorhandenes Wasser an kalten Oberflächen anfriert.

Hier eine Übersicht der Features, mit denen Sie Ihre Anlage optional ergänzen können:

ArtikelBeschreibung 
Upgrade Option 1: Vorvakuum-SystemVorvakuum-System bestehend aus einer BUSCH Trockenpumpe vom Typ COBRA DP250A mit 220 m³/h Pumpleistung
Upgrade Option 2: Vorvakuum-SystemVorkammersystem bestehend aus zwei BUSCH Trockenpumpen vom Typ COBRA DP250A mit 220 m³/h Pumpleistung separat für die Vorkammer und die Hauptkammer
Zusätzliche zweite Turbomolekularpumpezusätzliche zweite Pfeiffer Vakuum-Turbomolekular-Pumpe mit 1.900 l/s Pumpleistung für ein zweifach besseres Vakuum
Meissner-Falle und Kryogeneratorzusätzliche Meissner-Falle mit >0,5 m² Oberfläche für ein deutlich schneller aufgebautes Vakuum in der Hauptkammer für hocheffiziente Bearbeitung
Absperrventil für Turbomolekular-Pumpeerhöht die Vakuum-Reinheit und schützt die Turbomolekular-Pumpen gegen Verschmutzung beim Belüften der Anlage, mit zwei Turbomolekular-Pumpen und einer Zweiwege-Armatur ist der Wechsel einer Pumpe möglich, ohne das Vakuum zu unterbrechen

Alle Optionen können auch später gegen Aufpreis installiert werden

 

Mögliche technische Erweiterungen
Verkürzte Bearbeitung durch Blendenwechsler

Blendenwechsler: System zum automatischen Wechseln von Blenden im VakuumUm den Prozess weiter zu optimieren und die Bearbeitungsdauer zu verkürzen entwickelten die OPTEG-Ingenieure ein System zum Wechseln der Blenden für die Ionenquelle innerhalb der Vakuumkammer. Damit kann zum Beispiel von einer 8 mm-Blende auf die 4 mm-Blende gewechselt werden, ohne das Vakuum in der Kammer zu brechen und wieder aufbauen zu müssen.

 

 

 

Live-Ätzraten-Messgerät

Mit Hilfe eines von unserem Spezialistenteam entwickelten Live-Ätzraten-Geräts lässt sich die Ätzrate ermitteln, ohne wie oben beschrieben eine extra Probe gleichen Materials verarbeiten zu müssen. Man muss keine Dummyprobe einschleusen, bearbeiten, ausschleusen und messen, um die Ätzrate zu bestimmen. Das kann mit diesem innovativen Zusatzmodul alles innerhalb der Vakuumkammer passieren, vergleichbar mit einem Faraday-Scan. Das verkürzt deutlich die Vorbereitungszeit. Das auf Low Coherence Technologie basierende System ermittelt die Ätzrate einer Ionenquelle in Sekunden, mit einer Genauigkeit von +/- 0,1 nm/s.

Zusätzliche Funktionen

ArtikelBeschreibung
7. Achseermöglicht die Bearbeitung größerer Durchmesser mit starker Krümmung, maximal möglicher Durchmesser auf Anfrage
Automatischer Blendenwechslerermöglicht den Wechsel der Blende für die Ionenstrahlquelle im Betrieb (in der Vakuumkammer), maximal fünf Blenden, alle Durchmesser von 0.5 bis 20 mm möglich
Live Ätzraten Messgerät (ISERM)auf Low Coherence-Technologie basierendes Messsystem, um die Ätzrate der Ionenquelle zu bestimmen, ermittelt die Ätzrate innerhalb von Sekunden mit einer Genauigkeit von +/- 0.1 nm/s, einschließlich eines selbstaustauschbaren Messkopfes für verschiedene Materialien, mehrere Ätzraten Bestimmungen mit einem Messkopf möglich
PositionskameraEinrichten und Justieren neuer Werkstücke ohne Footprint Ätzungen möglich
Beschichtungs– und GlättungsoptionPaket für die Glättungs-Technologie, bestehend aus einer zusätzlichen Beschichtungseinheit mit einem Target (z.B. Silizium), zum Beschichten und Ätzen mit verschiedenen Materialien
UVS-SystemUnterbrechungsfreie Stromversorgung (UVS) für die Anlage zur Fortsetzung der Ionenstrahl-Bearbeitung während eines Stromausfalls, SPS-Anbindung zum sicheren Herunterfahren der Anlage

Handling und Automation

Alle OPTEG-Ionenstrahl-Formkorrekturanlagen können mit Robotersystemen zum Handling kleiner und großformatiger Werkstücke ergänzt werden. Das ermöglicht vollautomatische, hocheffiziente Prozesse.

ArtikelBeschreibung
Manuelles Handling- und BeladungssystemManuelles Handling System zum Be- und Entladen der Anlage über eine Vorkammer
Roboter und Werkstücklager-Paket 1Prozesserweiterung durch Roboter und Werkstücklager für einen kompletten vollautomatische Arbeitsablauf von mehreren verschiedenen Proben, automatisches Be- und Entladen der Proben, ermöglicht die Bearbeitung mehrerer Proben in Folge ohne menschlichen Eingriff, verschiedene Robotersysteme in Abhängigkeit von Werkstückgröße und Gewicht stehen zur Verfügung

1 Modell OMF 450 benötigt eine größere Vorkammer um den Roboter zu nutzen

Hier die komplette OMF-Produktübersicht inklusiv der optionalen Erweiterungen herunterladen.

 

Automatisierung Roboter Arm greift Probe für Ionenstrahlbearbeitungsanlage

Ionenstrahlbearbeitungsanlagen der OMF-Reihe können mittels Robotereinsatz auch vollautomatisiert betrieben werden

 

 

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