Anlagen / Daten

Machines for high precision polishing optical elements

Technische Eigenschaften der Ionenstrahl-Ätzanlagen der OMF-Reihe

  • erreichbare Oberflächenqualität von λ/200 und besser (je nach Messsystem)
  • Startgenauigkeit von einem Lambda @633 nm ist ausreichend
  • jede Maschine ist mit einem 6-achsigen Direktantriebssystem ausgerüstet, damit bekommt die Ionenquelle immer eine rechtwinklige (orthogonale) Position zur Werkstückoberfläche
  • bearbeitbare Formen können sein: plan, kugelförmig, Asphäre, Freiform, außeraxiale Asphären, Acylinders; Formen wie Prismen, Axicons oder andere auf Anfrage
  • Bearbeitung über die gesamte Oberfläche bis zum Rand und darüber hinaus
  • alle Bearbeitungsbewegungen (mäandernd, spiralförmig, freiform etc.) sind möglich, ohne die Einrichtung der Maschine zu ändern
  • alle monokristallinen, amorphen und metallischen Materialien können bearbeitet werden. Beispiele: alle Arten optischer Gläser, Quarzglas, Zerodur, ULE, KDP, Saphir, Si, SiC, Ge etc.
  • absolut stabile Prozesse mit extremer Reproduzierbarkeit
  • jede Maschine besitzt eine Hauptkammer und eine Schleusenkammer, was den Wechsel der Werkstücke beschleunigt
  • automatische in situ-Blendenwechsler für verschiedene Ionenstrahl-Durchmesser, 0,5 bis 20 mm (optional erhältlich)
  • vollautomatisierter Prozess, iterativer Prozessworkflow, ohne Messung des Werkstücks zwischen Prozessen mit unterschiedlichen Blendenöffnungen, Erweiterung des Prozesses durch Roboter und Ablagesysteme für die vollautomatische Bearbeitung mehrerer verschiedener Werkstücke (optional erhältlich)
  • Echtzeitmesssystem zur Bestimmung der Ionenstrahl-Ätzrate innerhalb von Sekunden, ohne Verwendung einer separaten Werkstückprobe (optional erhältlich)
  • niedrige Betriebskosten und geringer Wartungsaufwand

 

In diesem Video sind bei einer Simulation die Bewegungen der Ionenstrahlquelle an einer Freiform-Probe zu sehen

 

Hier die bisher gefertigten Typen von OMF-Anlagen zur Ionenstrahl-Bearbeitung (auch Ionenstrahl-Ätzen oder Ion Beam Figuring). Anlagen mit anderen Maßen oder Kenndaten fertigen wir gern nach Ihren Vorstellungen. Sie beschreiben, was Sie verfahrenstechnisch tun wollen. Wir passen die Anlage optimal an Ihren Produktionsprozess an. Lassen Sie uns darüber reden!

 OMF 200OMF 450OMF 600OMF 800OMF 1200
Direkt angetriebene Achsen66666
max. Durchmesser planer Proben200 mm450 mm600 mm800 mm1200 mm
Durchmesser nicht planer Probenabhängig vom Krümmungsradius, eine zusätzliche siebente Achse erweitert den möglichen Werkstückdurchmesser (optional erhältlich)
max. Dicke200 mm200 mm200 mm200 mm200 mm
max. Gewicht35 kg35 kg100 kg100 kg200 kg

Hier die OMF-Produktübersicht herunterladen.

Ionenstrahl-Bearbeitung (IBF) zum Finishing von Oberflächen im High End Bereich