Technische Eigenschaften der Ionenstrahl-Ätzanlagen der LEYBOLD OPTICS IBF Reihe
- erreichbare Oberflächenqualität von λ/200 und besser (je nach Messsystem)
- Startgenauigkeit von einem Lambda @633 nm ist ausreichend
- jede Maschine ist mit einem 6-achsigen Direktantriebssystem ausgerüstet, damit bekommt die Ionenquelle immer eine rechtwinklige (orthogonale) Position zur Werkstückoberfläche
- bearbeitbare Formen können sein: plan, kugelförmig, Asphäre, Freiform, außeraxiale Asphären, Acylinders; Formen wie Prismen, Axicons oder andere auf Anfrage
- Bearbeitung über die gesamte Oberfläche bis zum Rand und darüber hinaus
- alle Bearbeitungsbewegungen (mäandernd, spiralförmig, freiform etc.) sind möglich, ohne die Einrichtung der Maschine zu ändern
- alle monokristallinen, amorphen und metallischen Materialien können bearbeitet werden. Beispiele: alle Arten optischer Gläser, Quarzglas, Zerodur, ULE, KDP, Saphir, Si, SiC, Ge etc.
- absolut stabile Prozesse mit extremer Reproduzierbarkeit
- jede Maschine besitzt eine Hauptkammer und eine Schleusenkammer, was den Wechsel der Werkstücke beschleunigt
- automatische in situ-Blendenwechsler für verschiedene Ionenstrahl-Durchmesser, 0,5 bis 20 mm (optional erhältlich)
- vollautomatisierter Prozess, iterativer Prozessworkflow, ohne Messung des Werkstücks zwischen Prozessen mit unterschiedlichen Blendenöffnungen, Erweiterung des Prozesses durch Roboter und Ablagesysteme für die vollautomatische Bearbeitung mehrerer verschiedener Werkstücke (optional erhältlich)
- Echtzeitmesssystem zur Bestimmung der Ionenstrahl-Ätzrate innerhalb von Sekunden, ohne Verwendung einer separaten Werkstückprobe (optional erhältlich)
- niedrige Betriebskosten und geringer Wartungsaufwand
In diesem Video sind bei einer Simulation die Bewegungen der Ionenstrahlquelle an einer Freiform-Probe zu sehen
Hier die bisher gefertigten Typen von LEYBOLD OPTICS IBF -Anlagen zur Ionenstrahl-Bearbeitung (auch Ionenstrahl-Ätzen oder Ion Beam Figuring). Anlagen mit anderen Maßen oder Kenndaten fertigen wir gern nach Ihren Vorstellungen. Sie beschreiben, was Sie verfahrenstechnisch tun wollen. Wir passen die Anlage optimal an Ihren Produktionsprozess an. Lassen Sie uns darüber reden!
| LEYBOLD OPTICS IBF 200 | LEYBOLD OPTICS IBF 450 | LEYBOLD OPTICS IBF 600 | LEYBOLD OPTICS IBF 800 | LEYBOLD OPTICS IBF 1200 | |
|---|---|---|---|---|---|
| Direkt angetriebene Achsen | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 |
| max. Durchmesser planer Proben | 200 mm | 450 mm | 600 mm | 800 mm | 1200 mm |
| Durchmesser nicht planer Proben | abhängig vom Krümmungsradius, eine zusätzliche siebente Achse erweitert den möglichen Werkstückdurchmesser (optional erhältlich) | ||||
| max. Dicke | 200 mm | 200 mm | 200 mm | 200 mm | 200 mm |
| max. Gewicht | 35 kg | 35 kg | 100 kg | 100 kg | 200 kg |
Hier die LEYBOLD OPTICS IBF -Produktübersicht herunterladen.
